东莞无尘室操作须知

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东莞无尘室操作须知

　　1.  处理芯片时，必须戴上无纤维手套，使用清洗过的干净镊子挟持芯片，请勿以手指或其它任何东西接触芯片，遭碰触污染过的芯片须经清洗，方得继续使用：

　　(1) 任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过，或是镊子掉落地上，必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。

　　(2) 芯片清洗后进行下一程序前，若被手指碰触过，必须重新清洗。

　　(3)把芯片放置于石英舟上，准备进炉管时，若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染，必须将芯片重新清洗，并立即更换干净的镊子使用。

　　2. 芯片必须放置盒中，盖起来存放于规定位置，尽可能不让它暴露。

　　3.避免在芯片上谈话，以防止唾液溅于芯片上，在芯片进扩散炉前，请特别注意，防止上述动作产生，若芯片上沾有纤维屑时，用氮气枪喷之。

　　4. 从铁弗龙(Teflon)晶舟，石英舟(QuartzBoat)等载具(Carrier)上，取出芯片时，必须垂直向上挟起，避免刮伤芯片，显微镜镜头确已离芯片，方可从吸座上移走芯片。

　　5. 芯片上，若已长上氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。

　　6. 操作时，不论是否戴上手套，手绝不能放进清洗水槽。

　　7. 使用化学站或烤箱处理芯片时，务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不可使用塑料盒。

　　8. 摆置芯片于石英舟时，若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片，然后再进氧化炉。

　　9. 请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有碎芯片污染，必须重作清洗。

　　10. 手套，废纸及其它杂碎东西，请勿留置于操作台，手套若烧焦、磨破或纤维质变多必须换新。

　　11. 非经指示，绝不可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。

　　12. 奇怪的味道或反应异常的溶液，颜色，声响等请即通知相关人员。

　　13. 仪器因操作错误而有任何损坏时，务必立刻告知负责人员或老师。

　　14. 芯片盒进出无尘室须保持干净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。

　　15. 无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录，一般纸张与铅笔不得携入。

　　三、黄光区操作须知

　　1. 湿度及温度会影响对准工作，在黄光区应注意温度及湿度，并应减少对准机附近的人，以减少湿、温度的变化。

　　2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得携出黄光区以免感光。

　　3. 己上妥光阻，而在等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内， 盒盖必须盖妥。

　　4. 光罩使用时应持取边缘，不得触及光罩面，任何状况之下，光罩铬膜不得与他物接触，以防刮伤，光罩之落尘可以氮气枪吹之。

　　5. 曝光时，应避免用眼睛直视曝光机汞灯。

东莞市卓为空调机电设有限公司一直坚持以打造人与环境和谐共生，可持续发展的优良无尘车间工程为目标，从净化项目的设计到项目施工，都秉持着尽善尽美，精益求精，使项目在符合客户的要求上，更在降低项目后期使用成本，提高使用效率上追求更加科学化、完善化，以期为客户带来大的效益，为我们美丽的自然环境而降低能耗。