接触式三坐标测量机的精度的表示方法主要有3种：
(1) 测量机本身的精度：主要是指坐标位置的点位精度。
(2) 重复精度：是测量机重复测量某一尺寸时测量结果的变动范围。
(3) 示值精度：是测量机测量任何已知尺寸所得测量结果的误差范围。
非接触式三坐标测量的主要缺点：
(1) 因为非接触式测头大多是接收被测件表面的反射光或散射光，容易受到被测件表面的反射特性的影响，如颜色、斜率等；
(2) 测头容易受到环境光线及杂散光影响；
(3) 非接触式测量只做被测件轮廓坐标点的大量取样，不能进行面上指定点的测量，对边线及凹孔等的处理比较困难；
(4) 使用光学测头测量时，测量镜头的焦距调整会影响测量精度；
(5) 被测件表面的粗糙度会影响测量结果；
(6) 光学阴影处及光学焦距变化处是测量死角。
