1、扩散面放反:
FF:50以内(30-40) Irve1:12(也有正常的) Ncell:2%左右
解释:扩散时下面和背面都成N型,但背面N型扩散的结浅,扩散面放反后,原下面的N型被Al掺杂为P型,原背面的浅结很容易被烧穿。
Uoc:0.58-0.60 Isc:3-4 Rs:10-20 Rsh:10以内
主要参数特征:Isc减小,Rsh<5,η=10
3、正面粘有铝浆
Ncell<1% FF:24-25
4、N型片或高度补偿
Ncell:2-3% FF:100-200
解释:N型片背面印刷铝浆后成为P+型,下面扩散后形成N+型,从而产生电流。
Uoc 0.60-0.61 Isc:4左右 Rs:20左右 Rsh:10-20
主要参数特征:Rs偏大, Isc偏小, Rsh偏小
6、方块电阻偏小
Ncell:1%左右 FF:24多一点 Irev1>12
Uoc 0.0002左右 Isc:0.03左右(正常偏低) Rs=0或为负 Rsh<10或为0
主要参数特征:电压和电流基本为0,串联电阻为0. 解释:没有P-N结。
Uoc 0.62左右 Isc:4.8左右 Rs=3-6 Rsh:60-90
主要参数特征:串联电阻偏大,短路电流偏小,并联电阻偏大
9、刻蚀未刻透
Ncell:1-2%左右 FF:30-40 Irev1>12
11、不明原因
Ncell:1左右 FF:30-40 Irev1>12
解释:应为严重烧穿。 特殊:Uoc,Isc,Rs,Rsh,η,FF,Irve1>12
13、周边未刻蚀。Rsh<1,Irev1>12
1、看电性能参数,然后对照G档片原因分析表,看一下是否以前曾出现过类似情况,不过G档片分析表只能做为参考,不应当作证据指证任何工序。
①背场是否有滚轮印(4条),判断是否为RENA刻蚀不透。
③观察是否有边缘漏浆的现象。
⑤观察是否有微晶现象(1厘米内的晶粒数多于10个)。
⑦观察是否有断栅的现象。
⑨观察是否有刻蚀线,若没有可以尝试打磨。
4、观察测试是否有异常,将G档片放入其他线进行测试。
6、片源是否为试验片,是否为板P,是否为返工片,是否前面有流程卡混乱的情况。
在做板式PECVD出来的硅片,将会有4个对边分布挂痕,在丝网印刷的第一台背极印刷,放片时,要尽可能将挂痕压在主栅线上,这样使PECVD尽可能不影响硅片的外观。
排查G档片原因和步骤
1、电性能上,放反和未扩散是没有差别的,均为无Uoc,Isc,Irev1>12,这里的无Uoc,Isc是指Uoc<o.1v,isc<1ma.< span="">
2、外观上,放反的电池片是在二次清洗完成以后至PE镀膜之前,由于特殊原因造成扩散面(N型)向下,非扩散面(P型)向上,在非扩散面镀膜,当测试时光线照在非扩散面时,根本没有电流产生,所以效率接近0.在外观上,放反的电池片扩散工艺正常,二次刻蚀也正常,所以在扩散面的边缘会有刻蚀痕迹出现,当扩散面放反时,这些刻蚀痕迹会出现在电池片的背面,但是背面我们会印刷上背电场,在背电场的边缘会有刻蚀痕迹。
3、P-N型。通过使用万用表测量电池片的P-N型,也可以断定为何种G档片,未扩散的电池片,正反面都没有PN结,即都不存在N型导电区域,所以在使用万用表测量其表面电阻时,它的值应在104Ω左右。而扩散面放反的电池片,其正面也是P型区域,表面电阻为104Ω左右,但背面应该存在N型区域,用万用表测量表面电阻时,就在10Ω左右。
高串联电阻片:
原因:一是烧结温度与正电极浆料不匹配;二是正电极浆料被污染;三是由于正电极印刷不良;四是方块电阻异常。
需要我们对前道工艺有所了解。(比如各个中心方阻控制在多少,是双面扩还是单面扩,大绒面和小绒面,酸制绒和碱制绒,干刻和湿刻都需要了解清楚)
如果烧结炉有问题,炉温波动较大(温度波动超过6℃)升高炉温或是降低炉温观察一下效果。
工艺员的处理原则:
问题为什么发生。
排查异常情况的原因时undefined常用的,undefined有说服力的方法就是对比实验:
烧结炉的精确对比(20片)
丝印整条线的精确对比(100-200片)
先看一下从其他线拿几片电池片在出现异常的生产线测试一下,排查一下测试
再看一下正电极是否刚加入浆料。
电性能/数据趋势分析
EL测试
PN型测试